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反应溅射VN/SiO2纳米多层膜的微结构与力学性能

发布时间：2017-07-02    作者:      来源:      浏览次数:     打印


出版物名称：物理学报
出版期号：2007,56(3),1568-1573.
出版时间：2007
论文题名：反应溅射VN/SiO2纳米多层膜的微结构与力学性能.
论文作者：岳建岭
论文摘要：*
关键词：*
本院作者：岳建岭


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