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反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长

发布时间：2017-07-02    作者:      来源:      浏览次数:     打印


出版物名称：电子显微学报
出版期号：2006,25,B08,89-90.
出版时间：2006
论文题名：反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长
论文作者：岳建岭
论文摘要：*
关键词：*
本院作者：岳建岭


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