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Microstructure,mechanical properties and thermal stability of TiAlN/Si3N4 nano-multilayer films depo

发布时间：2017-07-02    作者:      来源:      浏览次数:     打印


出版物名称：Advanced Materials Research
出版期号：2009,79-82,489-492.
出版时间：2009
论文题名：Microstructure,mechanical properties and thermal stability of TiAlN/Si3N4 nano-multilayer films deposited by reactive magnetron sputtering
论文作者：岳建岭
论文摘要：*
关键词：*
本院作者：岳建岭


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